ウェーファー 処理 ツール の 中 に は,ウェーファー が 室 や 処理 ステーション から 出る 前 に 多く の 操作 が 行なわ れ て い ます.ポンプ が 起動 し,バルブ が 切り替わ れ,センサー が 読み返し を 返し,転送 メカニズム が ウェーファー を 動かす.,プロセスのソフトウェアは ステップごとに記録しています
ファンなしのミニPCは 機器キャビネットの中に座って ソフトウェア側からこのシーケンスをサポートしますプロセスサイクル全体で利用可能な生産データ.
1申請の背景
ワッフル処理機器は,1種類以上の機械をカバーします. 生産段階に応じて,システムは清掃,材料配送,ワッフル転送,プロセス監視,制御機能を支えるもの.
これらのシステムは,通常,主要な運用分野におけるウエファー製造をサポートします.
ワイファー清掃ステーションポンプ,バルブ,センサー,プロセスシーケンスが一緒に働かなければならない.
ウェーファー転送システム処理メカニズムは,ローズポート,チャーム,またはプロセスの位置の間にウエフルを移動させる.
ガスや化学物質の配送装置操作条件と供給状態が制御ソフトウェアに表示される必要があります.
温度,圧力,流量監視処理機器が機器データを継続的に返信する場合
サポートするプロセスモジュール複数の周辺機器が 1 つの機械アプリケーションと通信する必要がある場合
コンピュータ は 通常,別 の ワーク ステーション の よう に 見 られる の で は なく,コントロール キャビネット の 一部 に なる.その 位置 は 最も 重要 な もの を 変える.システムには既存のデバイスのための十分な通信経路が必要です装置の電気設計に適した電源配置.
2解決策の実施
扇風機のないミニPCは,ウエファー処理機器の囲いの中に設置され,機械のレイアウトに従って接続されます.
シリアルデバイスは複数のCOMポートを占有することがあり,プロセスの機器にはしばしばRS232,RS422またはRS485を使用しているコントローラまたは機器が含まれているためである.利用可能なプラットフォームは最大6つのCOMポートをサポートできますRS232/422/485で設定できる1つ
2つのギガビットイーサネットポートで,このマシンを接続します.1つの接続は機器側にとどまり,もう1つの接続は上層ネットワークまたは他の機械サブシステムとの通信のために留められる..
拡張は,機器に専用インターフェースカードが必要な場合,異なる方法で処理されます. プラットフォームは,PCIe x4 および PCIe x1 を含む構成をサポートします.標準的な機内インターフェースが不十分である場合,機器メーカーに別の選択肢を与える..
産業用DC配送を使用する機械キャビネットでも電源統合は簡単である.このシステムは936VDC入力を受け入れ,逆極性保護が含まれている.
コンピューターの周りに機械を組み立てる代わりに コンピューターはプロセスによって定義されている 機器のアーキテクチャに組み込まれます同じ基本的な制御プラットフォームが複数のマシンバージョンで異なる周辺機器の組み合わせをサポートする必要があるかもしれないプロジェクトに適しています.
3プロジェクトの利益
エンジニアリングチームは プロセスソフトウェア,デバイス通信,コンピュータ・プラットフォームに組み込み,対応するコントローラと機器に専門的な制御作業を任せる..
実践的には,このハードウェアは以下をサポートできます.
キャビネットの統合が速くなる複数のシリアル・イーサネットデバイスがマシン設計で既に定義されている場合.
より簡単な設定変更異なる機器のバージョンが異なるインターフェースの組み合わせを必要とする場合
よりクリーンな機械通信プロセスのデバイス,ローカルソフトウェア,そしてより高いレベルの生産システムとの間を
より柔軟な拡大プロジェクトに追加的な通信カードや制御カードが必要な場合
メンテナンスへのアクセスの簡素化ログやソフトウェア 周辺通信が ひとつのノードに 集中しているからです
機器メーカーにとって これは別のウエファー加工ステップや 顧客設定に 機械を適応させる際に 必要とされる 再設計を減らすのに役立ちますその価値は,主に,最初の組み立てから開始,および後のサービスまで機械のアーキテクチャを管理可能にしておくことです.
4顧客からの証言
パネルPCは,最小限の変更で,機器のレイアウトにシムレスに統合されます. 豊富なポート選択は,必要なすべての周辺接続をサポートします.そしてそれはキャビネットのマウントに完璧にフィットします扇風機のないデザインもキャビネットの設置にうまく機能しました. ほら韓国の半導体機器統合機
ワイファー処理機器は,プロセスデバイス,機械ソフトウェア,および生産システム間の安定した通信に依存します.
連続接続,イーサネット,拡張機能,および大電圧直流入力を持つ扇風機のないミニPCは,このタイプの機器のための実用的なコンピューティングベースを提供することができます.最終的な構成は,実際のマシンレイアウトに従う必要があります接続されたデバイスとソフトウェアの要件